晟碟半导体（上海）有限公司45m³/h*2超纯水系统成套设备。该超纯水系统进水为市政自来水，自来水进入原水箱后，经超滤预处理过滤、二级反渗透脱盐后进入中间水箱，然后再进入EDI和抛光混床装置进行深度脱盐处理，满足生产线超纯水用水水质要求。